(CF4)رابع فلوريد الكربون

رباعي فلوريد الكربون عالي النقاء (CF₄) لعمليات حفر أشباه الموصلات، وعمليات التنظيف، والتبريد، ومعالجة البلازما.

رابع فلوريد الكربون غاز مضغوط عديم اللون، غير قابل للاشتعال، وذو استقرار عالٍ. وباعتباره أحد أكثر المركبات العضوية استقرارًا، فهو لا يتفاعل مع النحاس أو النيكل أو التنجستن أو الموليبدينوم حتى في درجات حرارة تصل إلى 900 درجة مئوية، ولا يتحلل إلا ببطء عند درجات حرارة قوس الكربون. يُستخدم رابع فلوريد الكربون كغاز متخصص في الحفر والتنظيف في صناعة أشباه الموصلات، ومكون في مزيج المبردات، وغاز عازل كهربائي في تطبيقات إلكترونية متنوعة. كما يُستخدم في معالجة البلازما وكغاز متتبع. عند تعرضه لدرجات حرارة عالية، يزداد ضغط الحاوية، مما يُشكل خطر التشقق والانفجار، وعادةً ما يُنقل كغاز مضغوط مسال.