Trifluorure d’azote (NF3)
Caractéristiques
- N° CAS : 7783-54-2
- Numéro ONU : 2451
- Numéro EINECS : 232-007-1
- Masse moléculaire : 71,0019 g/mol
- Aspect : Incolore
- Point de fusion : -206,79 °C
- Point d’ébullition : -129,0 °C
- Densité : 2,96 kg/m³
- Classe de danger (DOT) : 2,2 et 8
- Étiquette : Gaz ininflammable
Gaz trifluorure d’azote (NF₃) de haute pureté fourni par la Chine pour la fabrication de semi-conducteurs, l’électronique et les applications spécialisées.
Trifluorure d’azote de haute pureté (NF₃) pour le nettoyage des chambres de semi-conducteurs, la gravure plasma et la fabrication d’écrans plats.
Le trifluorure d’azote est un gaz incolore et inodore à l’état pur. Mélangé à des gaz impurs, il peut prendre une teinte jaunâtre et dégager une odeur de moisi ou irritante. Le NF₃ est ininflammable, mais peut entretenir la combustion, agissant comme un puissant oxydant à haute température. Il se décompose lentement au-dessus de 350 °C, libérant des espèces fluorées très réactives. Le NF₃ est utilisé comme gaz de nettoyage spécialisé pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs (notamment pour le nettoyage des chambres de dépôt chimique en phase vapeur), comme agent de gravure dans le traitement plasma, et dans la production d’écrans plats et de cellules photovoltaïques. Il est généralement transporté sous forme de gaz comprimé liquéfié.
Expédition mondiale et conformité à l’exportation
Le trifluorure d’azote (UN 2451) est classé comme gaz comprimé non inflammable et doit être manipulé conformément à la réglementation stricte sur les matières dangereuses.
- Transport maritime (FCL/LCL) – méthode d’exportation standard
- Fret aérien – disponible sous réserve de conformité réglementaire
Documents d’exportation requis
- Fiche de données de sécurité (FDS)
- Certificat d’analyse (COA)
- Déclaration de marchandises dangereuses (DGD)
- Documentation des cylindres certifiée UN
- Facture commerciale et liste de colisage
Comment commander du trifluorure d’azote gazeux en provenance de Chine
- Veuillez envoyer les exigences techniques (pureté, spécifications du cylindre, application).
- Demande de devis (options EXW / FOB / CIF)
- Vérifier les spécifications et la conformité du cylindre
- Examiner le certificat d’analyse, la fiche de données de sécurité et les documents de certification
- Production, remplissage et contrôle qualité
- Organisation du transport des marchandises dangereuses
- Livraison et inspection finale à destination
Erreurs courantes lors de l’achat de trifluorure d’azote
- Choisir les fournisseurs uniquement en fonction du prix le plus bas
- Sans tenir compte de la certification et de la pression nominale du cylindre.
- Ne pas vérifier les niveaux d’humidité et d’impuretés
- Omission de l’inspection par un tiers avant l’expédition
- Supervision de la conformité des documents d’exportation
- Sous-estimation des exigences de sécurité pour la manipulation d’oxydants puissants
Conditionnement
| Capacité du cylindre | Soupape | Poids |
|---|---|---|
| 10 L | DISS640 | 4 kg |
| 47L | DISS640 | 20 kg |
| 440L | DISS640 | 195 kg |
Trifluorure d’azote (NF3) de qualité industrielle 99,99 %
| Spécification | 99,99% |
|---|---|
| tétrafluorure de carbone | ≤40 ppm |
| Azote | ≤10 ppm |
| Oxygène + Argon | ≤5 ppm |
| Monoxyde de carbone | ≤1 ppm |
| dioxyde de carbone | ≤3 ppm |
| Oxyde nitreux | ≤3 ppm |
| hexafluorure de soufre | ≤3 ppm |
| Humidité | ≤1 ppm |
| Exprimé en HF | ≤1 ppm |
Trifluorure d’azote (NF3) de qualité industrielle 99,996 %
| Spécification | 99,996% |
|---|---|
| tétrafluorure de carbone | ≤20 ppm |
| Azote | ≤5 ppm |
| Oxygène + Argon | ≤3 ppm |
| Monoxyde de carbone | ≤1 ppm |
| dioxyde de carbone | ≤0,5 ppm |
| Oxyde nitreux | ≤1 ppm |
| hexafluorure de soufre | ≤2 ppm |
| Humidité | ≤1 ppm |
| Exprimé en HF | ≤1 ppm |
Foire aux questions
